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北京雙儀微電子有限公司砷化鎵單片微波集成電路研發及產業化項目可行性研究報告

2022

04/24

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該項目引進電子束曝光機（EBL）、光刻機等關鍵生產設備并配套國產相關設備，建立砷化鎵晶圓生產線以及相應的輔助配套設施，形成月產12000片砷化鎵晶圓的生產能力。



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